Amûrên dermankirina gazê dikare gazên ku di pêvajoyên etching û pîşesaziyên kîmyewî de hatine bikar anîn, di nav de Sih4, Sih4, NF3, SF6, C2F6, WF6, NH3, N2O, û hwd.
Rêbaza dermankirina gazê ya nexşandî
Li gorî taybetmendiyên dermanê gazê, dermankirin dikare li çar celeb dermankirinê were dabeş kirin:
1. Tîpa şûştina avê (dermankirina gazên korokî)
2. Cûreyek oxidizing (mijûlbûna bi gazên şewitandî û toksîk)
3. Adsorption (li gorî celebê materyalê adsorkirinê ya ku meriv bi gaza dorpêçê ya têkildar re mijûl bibe).
4.Plasma Complusion Type (hemî celebên bargiraniyê dikarin bêne derman kirin).
Her cûre dermankirin xwedan xwedan û neçareseriyên xwe û her weha çarçoveya wê ya serlêdanê ye. Dema ku rêbazê dermankirinê şuştina avê ye, alavên erzan û hêsan e, û tenê dikarin gazên avakirina avê birêve bibin; Rêjeya serîlêdanê ya celebê avakirina ava elektrîkê ji ya şêwaza şuştina avê bilindtir e, lê lêçûna operasyonê zêde ye; Tîpa hişk xwedan kargêriya dermankirinê ya baş e, û ji bo gomlika gazê ya ku hêsan e an diherike ne pêkan e.
Kîmyewî û ji hêla hilberên wan ve bi gelemperî di pîşesaziya nîvrojê de têne bikar anîn li gorî taybetmendiyên kîmyewî û rêzikên wan ên cûda:
1. Gaza Flemable wekî Sih4h2, hwd.
2. Gavanên toksîk ên wekî Ash3, PH3, hwd.
3. Gaza kronkirî wekî HF, HCL, hwd.
4. Gaza Sernav mîna CF4, NF3, hwd.
Ji ber ku çar gazên jorîn ji jîngehê an laşê mirov re zirarê ne, ji ber vê yekê, ku serlêdana wê ya dirêj-avakirina avê ye, bi sînorkirî ye ku meriv bi parçebûna berfireh û berbiçav a gazê ya semiconductor re mijûl e. Ji ber vê yekê, pêdivî ye ku hûn li gorî taybetmendiyên gazê yên gazê yên têkildar hilbijêrin û hev bikin da ku ji her pêvajoyê derkeve da ku pirsgirêka gazê ya berfê bi rengek piçûk çareser bike. Wekî ku qada xebatê bi piranî ji pergala dermanê ya navendî dûr e, bi gelemperî ji ber taybetmendiyên gazê di nav boriyê de, û di bûyerên cidî de dibe sedema teqîn, ew dikarin ewlehiya xebata malperê bikin. Ji ber vê yekê, di devera kar de hewce ye ku amûrên dermankirina gazê ya piçûk ji bo taybetmendiyên gazê yên pêvajoyê maqûl be, da ku gaza derketina hişk li devera xebatê kêm bike, da ku ewlehiya personelê piştrast bike.
Demjimêra paşîn: Teb-10-2023