Bikaranîna gazên di pîşesaziya nîvrojê de ji destpêka 1950-an-ê heya 1960-an vedigere. Di dema pêvajoya hilberîna nîvgirava de, gazên bi piranî ji bo paqijkirin û parastina materyalên semiconductor têne bikar anîn da ku paqij û kalîteya xwe piştrast bikin. Di nav gazên herî gelemperî de nîtrojen û hîdrojen in.
Wekî ku teknolojiya nîvrojî ya pêşkeftî û çêkirina çêkirinê berdewam bû, daxwaza ji bo gazên zêde bûn. Di sala 1970-an de pêşkeftina teknolojiya nîvgirava nîvgirava, serîlêdana gazên ku di pêvajoyên girîng ên fîlimên hûrgilî de hêdî hêdî zêde dibin, û gazên fluoride (mînak SF6) û gazên bi gelemperî hatin bikar anîn. 1980 ji ber pêşkeftina gazên yekbûyî û zêdebûna daxwazê ji wan re zêdebûnek din dît. Hîdrojen di pêvajoya çêkirinê de, di nav de sazkirina hîdrojenê û depokariya vaporên hîdrojenê bi berfirehî hate bikar anîn. From ji 1990 heta niha, daxwaziya ji bo gazên bilind û gazên taybetî jî wekî mezinahiyên cîhaza nîvgirava zêde bûne û pêvajoyên nû hatine danîn. Mînakî, serîlêdana lîtografiya ultraviolet ekstrem (EUV) hewce dike ku karanîna gazên pir zêde yên paqij ên mîna nîtrojen û hîdrojenê bikar bîne.
Gaza nîvrûker berdewam dike ku bi pêşkeftina hilberên ku ji hêla bêtir hilberan ve têne eşkere kirin, ji ber vê yekê ku gazê ji bo hilberên gazê, valahiyên gazê, detektorê gazê, hwd.
Regulatorên zextê: Rêzikên zextê amûrên ku ji bo kontrolkirina zexta gazê têne bikar anîn. Ew bi gelemperî ji valvek rêziknameyê û sensorek zextê pêk tê. Regulatorên zextê li ser gazê gazê ya zexta bilind digirin û zexta gazê hilberê bi sererastkirina valahiyê bicîh bikin da ku daxwazên serlêdana taybetî bicîh bînin. Rêziknameyên zextê li deverên wekî pîşesazî, çêkirinê û kedkar, û her weha di pîşesaziya nîvgirker de, di nav yên din de, da ku aramî û ewlehiya gazê peyda bikin.
Valvesên gazê: Valvesên gazê ji bo kontrolkirina barkirina gazan û ji bo nêzîkbûna rêwîtiyên gazê têne bikar anîn. Ew bi gelemperî fonksiyonek li / off heye ku gaza gazê vedike an digire. Cureyên cûrbecûr valves hene, di nav de valvesên manual, valvesên elektrîkê û valayên pneumatic jî hene. Ew bi berfirehî di pergalên gazê de têne bikar anîn da ku pêl, zext û rêjeya gazê kontrol bikin.
Gavên zexta gazê: Pîvanên zexta gazê ji bo pîvandina asta zextê ya gazê tê bikar anîn. Ew bi gelemperî li cihên krîtîk ên di pergalên gazê de têne saz kirin da ku guheztinên zextê bişopînin û piştrast bikin ku ew di nav sînorên ewle de ne. Gavikên zexta gazê bi berfirehî di pîşesazî, çêkirinê û kedkariyê de têne bikar anîn, û pîşesaziya nîvgirker jî beşdar bûye.
Detektorên Lezgîn ên Gazê: Detektorên Lezgîn ên gazê ji bo tespîtkirina leaks di pergalên gazê de têne bikar anîn. Ew vedîtinHebûna leaksên gazê û alarmek dengê ku bi demê re dikare were girtin ji bo pêşîgirtina qezayên leaksiyê. Detektorên lehî yên gazê bi berfirehî di serlêdanên pîşesazî, kîmyewî, neft û gazê de têne bikar anîn, û pîşesaziya nîvserê jî beşdar bûye.
Demjimêra paşîn: Feb-20-2024