Teknolojiya Pizgîniya Gaza ya Paqijkirî beşek girîng a pergala gazê ya paqij-paqij e, ku ev teknolojiya bingehîn e ku meriv gazê paqij-paqij-ê ya pêdivî ye ku li ser xala bikar bînin û hîn jî kalîteya jêhatî biparêzin; Teknolojiya Pizgîniya Paqijkirinê ya High-Purity sêwirana rastîn a pergalê, hilbijartina kar û amûrên, avakirin û sazkirinê, û ceribandinê pêk tîne. Di salên dawî de, hewcedariyên hişk ên li ser paqijbûn û berfirehkirina gazîneyên gazê yên li ser hilberîna mîkroelectronîkî ya ku ji hêla cûrbecûrên mezin ên entegre ve têne destnîşan kirin, teknolojiya pîvaz a gazên bilind bi fikar û balkêş kirin. Ya jêrîn ji hilbijartina materyalê re pêşniyara gazê ya bilind-paqij eof Avakirin, her weha pejirandin û rêveberiya rojane.
Cûreyên gazên hevbeş
Klasîkirina gazên hevbeş di pîşesaziya elektronîkî de:
Gazên hevbeş(Gazê bulk): Hydrogen (h2), nîtrojen (n2), oksîjen (o2), argon (a2), hwd.
Gazên taybetîSih4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,HCl,CF4 ,NH3,Pocl3, Sih2cl2 SihCl3,NH3, BCL3 ,Sif4 ,Clf3 ,Co,C2F6, N2o,F2,Hf,HBR SF6...... hwd.
Cûreyên gazên taybetî dikarin bi gelemperî wekî kronîk werin çandinxaz, toxicxaz, flmlablexaz, şewitandîxaz, inertxaz, hwd.
(i) kron / toksîkxaz: HCl, BF3, WF6, Hbr, sih2Cl2, NH3, PH3, CL2, BCl3... hwd.
(ii) Flammabilityxaz: H2, CH4, Sih4, PH3, Ash3, sih2Cl2, B2H6, CH2F2,C3F, CO ... hwd.
(iii) combustibilityxaz: O2, CL2, N2O, NF3... hwd.
(iv) Inertxaz: N2, CF4, C2F6, C4F8,SF6, CO2, NE, KR, ew ... hwd.
Gelek gazên nîvgirava bi laşê mirov zirarê ne. Bi taybetî, hin ji van gazên, wek sih4 şewitandina spontan, heya ku leqek dê bi oksîjenê di hewayê de bertek nîşan bide û dest bi şewitandinê bike; û ash3Highly toksîk, her lebatek hindik dikare bibe sedema xetera jiyana mirov, ji ber van xetereyên eşkere, ji ber vê yekê daxwazên ji bo ewlehiya sêwirana pergalê bi taybetî bilind e.
Qada serîlêdanê ya gazê
Wekî madeyek girîng a pîşesaziya nûjen, hilberên gazê bi berfirehî têne bikar anîn, û gelek gazên hevbeş an gazên taybetî, makîneyên, elektronîkî, çêkirina materyal, çêkirinê, çêkirina xwarinê, derman û sektorên bijîjkî têne bikar anîn. Serîlêdana gazê bandorek girîng a li ser teknolojiya bilind a van warên bi taybetî heye, û gazê xameta xav a domdar an gazê pêvajoyê ye. Tenê bi hewcedar û pêşkeftina sektorên pîşesaziya nû û zanist û teknolojiya nûjen, hilberên pîşesaziya gazê dikarin bi leza û sînorên di warê cûrbecûr, kalîteyê û hêjayî de werin pêşve xistin.
Serîlêdana gazê di pîşesaziya MicroelEctronics û Semiconductor de
Bikaranîna gazê her gav di pêvajoya semiconductor de rolek girîng lîstiye, bi taybetî jî di pîşesaziya cûrbecûr, TFT-LCD-ê de, ku hemî pêvajoya semiconductor wekî hilberîna hilberînê bikar tînin. Paqijiya gazê li ser performansa pêkhat û hilberên hilberê bandorek diyarkirî ye, û ewlehiya gazê bi tenduristiya karmendan û ewlehiya operasyonên nebatê re têkildar e.
Girîngiya pişka paqijiya bilind di veguhastina gaza bilind-paqij de
Di pêvajoyê de materyalek zindî û çêkirina materyalê, di derbarê 200g gazê de dikare li ser ton were tewandin. Piştî pêvajoya stainless, ne tenê rûyê wê bi konteynirên cihêreng, lê di heman demê de di heman demê de di heman demê de di heman demê de di heman demê de gelek gazê jî avêt. Gava ku hewa hewayê heye, metal heye ku vê perçê gazê digire, dê ji nû ve bikeve hewayê, gazê pak. Gava ku hewaya hewayê diherike, tub li ser zextê diqede, û dema ku hewayê di rê de derbas dibe, gaza ku ji hêla tubê ve zexta çareser dike, û gazê çareserkirî jî di navbêna pakijê de wekî nepoxan dike. Di heman demê de, adsorkirin û çareserkirin dubare dibin, da ku metal li ser rûyê hundurê pîvanê hûr hûr bibin, û ev parçeyên tozê yên metal jî di hundurê tubê de gazê paqij dikin. Ev taybetmendiya tubê pêdivî ye ku paqijiya gazê veguhestin, ya ku ne tenê hêsantirek pir zêde ya rûyê hundurê tubê ye, lê di heman demê de berxwedanek cilên bilind jî heye.
Gava ku gaz bi performansa xurt a bihêz tê bikar anîn, pêdivî ye ku pipesên zindî yên zirav-berxwedêr ji bo piping were bikar anîn. Wekî din, pîvaz dê li ser rûyê hundurîn û di rewşên cidî de deverek kûrahî û li wir jî hebe, dê qadek mezin a metal an jî perforasyonê hebe, ku dê gazê pak bide ku were belav kirin.
Têkiliya veguhastina gazê ya bilind û paqij û paqijkirina gazê ya bilind û belavkirina rêjeyên mezin ên mezin.
Di prensîbê de, hemî ji wan re welded in, û tubên ku têne bikar anîn hewce ne ku guhartin di rêxistinê de dema ku welding tê sepandin. Materyalên bi naveroka karbonê re mijarek karbonê ye dema ku welding, ku welding gaza li hundur û li derveyî pîvanê çê dike û paqijiya paqij û paqijiya gazê ya veguhestî dike, di encama windabûna hemî hewildanên me de dike.
Bi kurtahî, ji bo gaza paqij û gaza gazê ya taybetî, pêdivî ye ku dermanek taybetî ya paqijkirî ya bilind-paqij bike (tevî pipes, valves, VMB, VMP) li belavkirina gaza bilind-paqijkirî dagir dike.
Têgîna gelemperî ya teknolojiya paqij ji bo veguheztinên veguhastinê û belavkirinê
Veguhestina laşê gazê ya pir paqij û paqij bi tê vê wateyê ku hin hewcedariyên an kontrola sê aliyan hene ku ji sê aliyan re bibin.
Paqijiya gazê: Naveroka atmosfera Ggasê: Bi gelemperî wekî sedî sedî ya gazê, wekî 99.999%, di heman demê de wekî rêjeya volume ya atmosfera atmosferê ya nîgaşî ya ppm, ppb, ppt tê vegotin.
Zehf: Mîqdara mêjiyê di gazê de, an jî mîqdara ku jê re tê gotin, bi gelemperî di warê DEW de tê gotin, wek mînak DEW DEW POINT -70. C.
Paqijkirin: Hejmara parçeyên konteynir di gazê de, parçeyên mezinahiya μm, ji bo adresressressressed
Kulîlkên Mezinahiya Dîwanê: Bi piranî, bi piranî, kêşeya metirsîdar a ku ji hêla parçeyên metal, û her weha mîkrojen, phages û navgîniya gazê ya gazê, hwd.
A) Parçeyên mezin - Mezinahiya Particle li jor 5μm
b) Particle - Diameter Material Di navbera 0,1μm-5 de
c) Parçeyên Ultra-Micro - Mezinahiya Particle ji 0,1μm kêmtir.
Ji bo ku serîlêdana vê teknolojiyê zêde bikin, ku bikaribin têgihiştina pergala parçeyê û yekîneyên parçeyê, komek statûya taybetî ya taybetî ji bo referansê peyda dibe
Ya jêrîn berhevokek parçeyên taybetî ye
| Nav / Partçe Mezinahî (μm) | Nav / Partçe Mezinahî (μm) | Nav / Partçe Mezinahî (μm) |
| Vîrus 0.003-0.0 | Aerosol 0.03-1 | Microdropleta Aerosolized 1-12 |
| Sotemeniya Nuclear 0,01-0.1 | 0.1-6 boyaxkirin | Fly ash 1-200 |
| Karbon reş 0.01-0.3 | Powderê şekir 0,1-10 | Pesticide 5-10 |
| Resin 0.01-1 | Bakterî 0.3-30 | Dust Dust 5-100 |
| Cixare 0.01-1 | Sand Dust 0.5-5 | Pollen 10-15 |
| Silicone 0.02-0.1 | Pesticide 0.5-10 | Porê Mirovan 50-120 |
| Salt Crystallized 0.03-0.5 | Dust-a sulfur 1-11 | Sand Sand 100-1200 |
Demjimêrê paşîn: Jun-14-2022