Teknolojiya boriyên gazê yên paqij-paqij beşek girîng a pergala dabînkirina gazê ya paqij-paqij e, ku teknolojiya sereke ye ku gaza paqij-paqijiya pêdivî bigihîje cîhê karanîna û hîn jî qalîteya jêhatî diparêze;Teknolojiya boriyên gazê yên paqij-paqij sêwirana rast a pergalê, hilbijartina pêlav û pêvekan, çêkirin û sazkirin, û ceribandinê vedihewîne.Di van salên dawî de, hewcedariyên hişk ên li ser paqijî û naveroka nepaqijiya gazên bilind-paqijî di hilberîna hilberên mîkroelektronîkî de ku ji hêla dorhêlên yekbûyî yên mezin ve têne temsîl kirin, teknolojiya boriyê ya gazên paqijiya bilind her ku diçe fikar û tekez kiriye.Ya jêrîn kurteyek li ser boriyên gazê yên paqijiya bilind ji hilbijartina materyalê yeof avakirin, û her weha pejirandin û rêveberiya rojane.
Cureyên gazên hevpar
Dabeşkirina gazên hevpar ên di pîşesaziya elektronîkî de：
Gazên hevpar(Gaza mezin）: hîdrojen (H2)nîtrojen (N2), oksîjen (O2), argon (A2), hwd.
Gazên taybetSiH in4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,HCL,CF4 ,NH3,POCL3, SIH2CL2 SIHCL3,NH3, BCL3 ,SIF4 ,CLF3 ,CO,C2F6, N2O,F2,HF,HBR SF6…… hwd.
Cûreyên gazên taybetî bi gelemperî dikarin wekî gemarî bêne dabeş kirinxaz, toksîkxaz, şewatbarxaz, şewitandinxaz, bêhêzxaz, hwd. Gazên nîvconductor yên ku bi gelemperî têne bikar anîn bi gelemperî wekî jêrîn têne dabeş kirin.
(i) Xerîb/jehrînxaz: HCl, BF3, WF6, HBr , SiH2Cl2, NH3, PH3, Cl2, BCl3…hwd.
(ii) Şewitandinxaz: H2, CH4, SiH4, PH3, AsH3, SiH2Cl2, B2H6, CH2F2,CH3F, CO…hwd.
(iii) şewitandinxaz: O2, Cl2, N2O, NF3… hwd.
(iv) Bêhêzxaz: N2, CF4, C2F6, C4F8,SF6, CO2, Ne, Kr, Ew…hwd.
Gelek gazên nîvconductor zirarê didin laşê mirovan.Bi taybetî, hinek ji van gazan, wek SiH4 şewitandina spontan, heya ku lekeyek bi oksîjena hewayê re bi tundî reaksiyonê bike û dest bi şewitandinê bike;û AsH3pir jehr e, her lehiyek sivik dibe ku bibe sedema xetera jiyana mirovan, ji ber van xetereyên eşkere ye, ji ber vê yekê hewcedariyên ewlehiya sêwirana pergalê bi taybetî zêde ye.
Qada sepanê ya gazan
Wekî madeya xav a bingehîn a girîng a pîşesaziya nûjen, hilberên gazê bi berfirehî têne bikar anîn, û hejmareke mezin ji gazên hevpar an gazên taybetî di metalurgy, pola, neft, pîşesaziya kîmyewî, makîne, elektronîk, cam, seramîk, materyalên avahîsaziyê, avahîsaziyê de têne bikar anîn. , hilberîna xwarinê, derman û sektorên bijîjkî.Serîlêdana gazê bi taybetî li ser teknolojiya bilind a van qadan bandorek girîng heye, û gaza wê ya madeya xav an gaza pêvajoyê ya domdar e.Tenê bi hewcedarî û pêşvebirina sektorên cûrbecûr yên pîşesaziyê û zanist û teknolojiya nûjen, hilberên pîşesaziya gazê dikare di warê cûrbecûr, kalîte û mîqdarê de bi lez û bez pêşve bibe.
Serîlêdana gazê di pîşesaziya mîkroelektronîk û nîvconductor de
Bikaranîna gazê her gav di pêvajoya nîvconductor de rolek girîng lîstiye, nemaze pêvajoya nîvconductor bi berfirehî di pîşesaziyên cihêreng de tê bikar anîn, ji ULSI kevneşopî, TFT-LCD heya pîşesaziya mîkro-elektro-mekanîkî (MEMS) ya heyî, hemî ku bi navê pêvajoya nîvconductor wekî pêvajoya çêkirina hilberan bikar tînin.Paqijiya gazê bandorek diyarker li ser performansa pêkhateyan û hilberîna hilberê heye, û ewlehiya peydakirina gazê bi tenduristiya karmend û ewlehiya karûbarên nebatê ve girêdayî ye.
Girîngiya boriyên paqijiya bilind di veguheztina gazê ya paqijiya bilind de
Di pêvajoya helandina polayê zengarnegir û çêkirina materyalê de, bi qasî 200 gram gaz dikare ji her tonekê were vehewandin.Piştî hilanîna polayê zengarnegir, ne tenê rûbera wê bi cûrbecûr gemaran ve zeliqiyaye, lê di heman demê de di tîrêjê wê yê metalê de jî hêjmarek gazê vedixwe.Dema ku hewa di nav boriyê de hebe, metal vê beşa gazê vedigire dê ji nû ve bikeve hewayê, gaza paqij qirêj bike.Dema ku herikîna hewayê di lûlê de herikîna domdar be, lûle gazê di bin zextê de vedihewîne, û gava ku herikîna hewayê derbas dibe raweste, gaza ku ji hêla lûlê ve hatî vegirtin daketinek zextê çêdike ku çareser bibe, û gaza çareserkirî jî dikeve nav gaza paqij a di boriyê de. wek nepakî.Di heman demê de, adsorpasyon û çareserkirin têne dubare kirin, da ku metala li ser rûyê hundurê boriyê jî hêjmarek toz çêdike, û ev pariyên toza metalê jî gaza paqij a hundurê lûlê qirêj dike.Ev taybetmendiya boriyê ji bo misogerkirina paqijiya gaza veguhestî, ku ne tenê nermbûnek pir zêde ya rûbera hundurê boriyê, lê di heman demê de berxwedanek lêdanê ya bilind jî hewce dike, pêdivî ye.
Dema ku gaza bi performansa korozyonê ya bihêz tê bikar anîn, divê ji bo boriyan lûleyên pola zengarnegir ên berxwedêr ên korozyonê werin bikar anîn.Wekî din, dê boriyek ji ber korozyonê li ser rûyê hundur lekeyên korozyonê çêbike, û di rewşên cidî de, dê li deverek mezin a xêzkirina metal an tewra perforasyon hebe, ku dê gaza paqij a ku were belavkirin qirêj bike.
Girêdana lûleyên veguheztin û belavkirina gazê ya bilind û paqijiya bilind a rêjeyên herikîna mezin.
Di prensîbê de, ew hemî têne weld kirin, û lûleyên ku têne bikar anîn hewce ne ku dema ku welding tê sepandin di rêxistinê de guheztinek nebin.Materyalên bi naverokek pir zêde karbonê di dema welkirinê de dikevin bin bandora hewayê ya perçeyên wellandî, ku ev yek dike ku bi hevûdu veguhezîne gazan li hundur û derveyî boriyê û paqijî, zuwabûn û paqijiya gaza ku hatî veguheztin hilweşîne, û di encamê de hemû hewldanên me.
Bi kurtahî, ji bo gaza bilind-paqijî û lûleya veguheztina gazê ya taybetî, pêdivî ye ku meriv dermankirinek taybetî ya boriyek pola zengarnegir-paqijiya bilind bikar bîne, da ku pergala boriyê ya paqijiya bilind (di nav de lûle, pêlav, valves, VMB, VMP) were çêkirin. Dabeşkirina gazê ya paqijiya bilind mîsyonek girîng digire.
Têgeha giştî ya teknolojiya paqij ji bo boriyên veguheztin û belavkirinê
Veguheztina laşê gazê ya pir paqij û paqij bi boriyan tê vê wateyê ku ji bo sê aliyên gazê yên ku têne veguheztin hin hewcedarî an kontrol hene.
Paqijiya gazê: Naveroka atmosfera nepaqijiya di gGas Paqijiya: Naveroka atmosfera nepaqijiya di gazê de, bi gelemperî wekî rêjeya paqijiya gazê, wekî 99,9999%, her weha wekî rêjeya qebareya naveroka atmosfera nepaqijiyê ppm, ppb, tê diyar kirin, ppt.
Ziwabûn: mîqdara şopa şilbûna di gazê de, an mîqdara ku jê re şilbûn tê gotin, bi gelemperî bi xala dewê ve tête diyar kirin, wek mînak xala dewê ya zexta atmosferê -70.C.
Paqijî: hejmara pariyên gemarî yên ku di gazê de hene, mezinahiya parçikê ya mîkm, çend perçe/M3 ji bo hewayê pêçandî, bi gelemperî jî bi çend mg/m3 bermahiyên zexm ên neçar, ku naveroka neftê vedihewîne, têne diyar kirin. .
Dabeşkirina mezinahiya gemarê: Parçeyên qirêj, bi giranî li gorî qebareya mezinahiya pariyên wê, şûştina boriyê, cil û berg, korozyona ku ji hêla perçeyên metal, perçeyên sotê yên atmosferê ve, û her weha mîkroorganîzma, fage û dilopên kondensasyona gazê yên ku dihewîne, û hwd. tê dabeşkirin
a) Parçeyên mezin - mezinahiya parçikan ji 5μm
b) Parçeyek – bejna madeyê di navbera 0,1μm-5μm
c) Parçeyên Ultra-mîkro - mezinahiya perçeyê ji 0.1μm kêmtir.
Ji bo zêdekirina sepana vê teknolojiyê, ji bo ku meriv bikaribe têgihîştina mezinahiya parçikan û yekîneyên μm were fam kirin, komek statûya perçeyên taybetî ji bo referansê tê peyda kirin.
Li jêr berawirdkirina pariyên taybetî ye
| Nav / Mezinahiya perçeyê (µm) | Nav / Mezinahiya perçeyê (µm) | Nav / Mezinahiya perçeyê (µm) |
| Vîrus 0.003-0.0 | Aerosol 0,03-1 | Microdroplet aerosolized 1-12 |
| Mazota nukleerî 0,01-0,1 | Paint 0.1-6 | Fly ash 1-200 |
| Karbonê reş 0,01-0,3 | Toza şîr 0,1-10 | Pesticide 5-10 |
| Resin 0,01-1 | Bakterî 0,3-30 | Toza çîmento 5-100 |
| Dûmana cixareyê 0,01-1 | Toza qûmê 0,5-5 | Polen 10-15 |
| Silicone 0,02-0,1 | Pesticide 0,5-10 | Porê mirovan 50-120 |
| Xwêya krîstalîzekirî 0,03-0,5 | Toza sulfurê ya konsantrekirî 1-11 | Quma deryayê 100-1200 |
Dema şandinê: Jun-14-2022